• CDS系統被設計用于安全地向晶圓制程提供容量為200升超高純度化學藥品。采用計算機可編程邏輯控制系統采 樣和監控供應泵和閥門的工作狀態，實現系統自動運行 而無需人工干預。
•  操作員只需將化學品原料桶裝入原料倉，通過觸摸屏上的按鈕即可使系統按預設的程序自動運行，從而減少了操作人員與化學藥品接觸的機會，一方面加強了人身安全，另一方面避免外界雜質進入使化學品受到污染。
• 設備維護人員可以進入手動控制模式對設備的每一 個單元進行控制。系統中完善的報警電路，一旦出現故障可以通知操作人員并關閉故障單元甚至關閉整個系統。

       • 外殼材料:1不銹鋼骨架， 12mm厚度進口pp板； 

       • 化學品管路: PFA ；

       • N2和壓縮空氣管路: 316的不銹鋼；

       • 泵: Yamada DP-20 56L/MIN的氣動隔膜泵，揚程可達10米，具有測漏的功能，特別配備的緩沖器，PD25TT,以保證穩定的化學品供應；

       • 外部尺寸(mm):2200w X 1300D X2200H；

       • 凈重:約450kg；

       • PLC控制器: Allen-Bradley SLC 5/04           

                 •  觸摸屏:PROFACE 10.4寸 彩色LCD。