應用領域 

  集成電路、先進封裝、光伏 

    相關工藝

  配液、輸送 、過濾及取樣

    產品優勢 

    工藝結果具備高度的一致性，確保清洗效果。 

    運行穩定，uptime≥99%，降低維護成本。 

    分級安全互鎖設置，確保設備安全可靠。 

    良好的密閉性有效保證了工作環境及操作人員的安全性。 

    布局專業，占地空間小。 

    工藝過程完全自動化控制。 

        Recipe編輯靈活、便捷，支持并行工藝。 

    適用于多種尺寸零部件清洗。 

    一機多用，可兼容石英舟/管清洗。 

    自主研發控制系統，友好的人機交互界面。

        非標設備可根據客戶需求實現定制。

        功能：高純化學品配液、過濾、輸送適用化學品：各種高純度化學品

    外殼材質：鋼架外包PP/PVC

    控制方式：PLC遠程控制