SEMITOOL、VERTEQ的甩干機廣泛應用于半導體、LED行業

    *沖洗循環

    *干燥周期

    *全自動沖洗

    N2加熱器可用于沖洗和干洗循環，可以設置10個預設程序，每個程序可以有10個步驟

    • 適用于2~8英寸硅、砷化鎵、玻璃等各種材質襯底； 

    • 可方便地更換不同尺寸轉子以滿足多尺寸用戶的需求，無需購買額外的設備；  

    • 98%的uptime，最穩定的半導體設備； 

    • 良好的顆粒度指數和干燥程度。 

    • 每次甩干的純水消耗量少于3加侖，每次工藝時間不超過7分鐘； 

    • 采用更高性能的無刷電機。