自動的石英坩堝清洗機是利用濕法的化學工藝來清洗石英部件。在清洗的過程中，HF附帶DI水及加壓氮氣被做為蝕刻劑，石英坩堝的移動是通過PLC控制多向的自動化機械手臂來完成系統的操作。

    設備主體結構由清洗機箱體、漏盤、上下噴淋系統、活動托盤、儲酸系統、抽風系統、酸液循環系統、石英器皿腐蝕/清洗槽、熱風烘干系統、管路部分、PLC+觸摸屏電控部分。

    該設備主體上下分為三部分：上層電器控制系統、后部抽風系統，中層工作區，下層為管道安裝維修區、儲酸箱、DIW增壓泵、緩沖槽、酸液循環泵等。

工藝流程：

    首先將石英坩堝放入清洗機立式活動臺，檢查水、電、氣正常，活動門封閉，然后啟動按鈕→進入酸洗程序→進入DIW洗程序→冷風預吹干→熱風吹干→冷風預冷卻→合格報警→人工用小車將石英坩堝取出清洗機，完成整個清洗工作。