本設備為浸泡式清洗機，用于擴散、外延等設備的石英管，碳化硅管的清洗。

        設備功能：用于石英爐管的清洗，操作員手工放入，在清洗槽內自動旋轉，酸腐蝕后DIW沖洗，然后手工取出。

        • 不銹鋼骨架，白色的PP外殼，底盤采用擠出式焊接工藝，杜絕滲漏風險；

        • 機臺側部安裝有可旋轉式的觸摸屏；

        • PLC控制工藝過程，用戶界面進行編程和監控； 

        • 工藝槽內石英爐管可做旋轉運動，有一定的傾斜角度以利于排空內部液體； 清洗槽左右兩端設有美國進口純水噴槍和氮氣噴槍。 

        • 工藝槽內石英爐管可做旋轉運動，有一定的傾斜角度以利于排空內部液體； 

        • 后部的排氣裝置，有可調節的氣閘； 

        • EMO緊急按鈕；

        • 三色警燈； 

        • 前部和后部維修門設計； 

        • 后部自動供酸系統接口設計； 

        • 清洗槽左右兩端設有進口純水噴槍和氮氣噴槍。