適用化學品：HF/HNO3/丙酮/活性劑

    外殼材質：鋼架外包PP/PVC

    特點：去膠清洗、帶儲液槽，可循環利用，全自動清洗

    控制方式：PLC控制

    應用領域 

  集成電路、先進封裝、光伏 

    適用工藝 

  石英舟/管、石英板、石英棒、保溫桶等零部件清洗 

    產品優勢 

•       工藝結果具備高度的一致性，確保清洗效果。 
•       運行穩定，uptime≥99%，降低維護成本。 
•       分級安全互鎖設置，確保設備安全可靠。 
•       良好的密閉性有效保證了工作環境及操作人員的安全性。 
•       布局專業，占地空間小。 
•       工藝過程完全自動化控制。 
•         Recipe編輯靈活、便捷，支持并行工藝。 
•       適用于多種尺寸零部件清洗。 
•       一機多用，可兼容石英舟/管清洗。 
•       自主研發控制系統，友好的人機交互界面。
•       非標設備可根據客戶需求實現定制。