應用領域：半導體及MEMS制程

    適用化學品：EKC/IPA/丙酮/MS2001等

    外殼材質：304不銹鋼拉絲板

    相關工藝：能夠處理ACT 915、IPA與DIW清洗

    工藝槽材質：槽體采用316L電解拋光不銹鋼、PTFE、PVDF等

    工藝控制：循環、過濾、抖動、控溫

    外形尺寸：~1800*1500*1900(L*W*Hmm)

    清洗數量：4~6''基片，25pcs/盒