對擴散后硅片上表面磷硅玻璃的祛除，磷硅玻璃的存在使得硅片在空氣中表面容易受潮，導致電流的降低和功率的衰減；死層的存在大幅增加了發射區電子的復合，會導致少子壽命的降低，進而降低了Voc和Isc；磷硅玻璃的存在使得PECVD后產生色差。在線式濕法刻蝕設備通過完善的工藝過程自動控制監控系統、可視化操作面，有效地減少化學藥品使用量，降低人員勞動強度，降低碎片率，提高工藝過程的穩定性。

•      功能：清洗/腐蝕工藝
  
•      特點：全自動/半自動操作，工藝穩定、安全
  
•     外殼材質：鋼架外包PP/PVC
  
•     機械手：前置/后置移栽搬運機械手
  
•     工藝槽材質：石英、PTFE、PVDF
  
•     工藝控制：循環、過濾、抖動、控溫
  
•     外形尺寸：~10000*1500*2000(L*W*Hmm)
  
•     清洗數量：3~6''基片4~8盒，25pcs/盒
•                            ~2800*1500*1900(L*W*Hmm)
•                            3~6''基片4~8盒，25pcs/盒
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