1.機器處理石英管的尺寸

本機器可處理1200~1500片的石英舟(1370X200X147),單槽可以同時放置2個石英舟，也可以處理直徑為330mm、長度最大為2900mm的石英管

2.機器總構

機器采用框架式結構，框架外覆聚丙烯板，整機為全封閉結構，避免環境污染。

3.動作及工藝流程

該設備內設兩個槽，兩個槽功能對等，如果一個槽用于酸洗、漂洗；則另一個槽可以用于儲存酸液，便于酸液回用。

清洗石英舟時，將石英舟的支架安放在酸洗槽底部，騎跨在用于清洗轉動石英管石英管的傳動軸的上方，將要酸洗處理的石英舟置放在此支架上進行酸洗處理。酸洗結束后，通過PLC控制的氣動隔膜泵將酸液泵進另一個槽，然后酸洗槽兩側的噴淋管對石英舟噴淋或者用進DIY水進行漂洗（由操作者決定采取哪種方式處理或同時處理均可），漂洗結束后再用氮氣人工吹干。

清洗石英管時，取出騎跨在用于清洗轉動石英管的傳動軸上方的支架，將4個石英管人工抬進酸洗槽內，先進行酸洗，酸洗結束后，通過PLC控制的氣動隔膜泵將酸液泵進另一個槽，然后酸洗槽兩側的噴淋管對石英舟噴淋或者用進DIY水進行漂洗（由操作者決定采取哪種方式處理或同時處理均可），漂洗結束后再用氮氣人工吹干。

清洗石英舟與清洗石英管不能同時在一個工藝槽內進行。